壓力傳感器的發展史上經曆了四個階段，現已成為各類傳感器中技術最成熟、性能穩定
、性價比最高的一類傳感器，有著體積小、重量輕
、靈敏度高
、穩定可靠
、成本低以及便於集成化的優點，並廣泛應用於水利、地質、氣象、化hua工gong和he醫yi療liao衛wei生sheng等deng方fang麵mian。聽ting起qi來lai是shi不bu是shi很hen厲li害hai呢ne？所suo以yi我wo們men更geng要yao了le解jie它ta的de發fa展zhan曆li史shi，這zhe樣yang才cai能neng更geng加jia深shen入ru的de了le解jie
，前qian麵mian我wo們men也ye說shuo到dao了le曆li經jing四si個ge階jie段duan
，那na麼me這zhe四si個ge階jie段duan是shi怎zen樣yang的de呢ne？

第一個階段：發明

1945-1960年
，這個階段主要以1947年雙極性晶體管的發明為標誌。此後，半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯（C.S.Smith）與1945faxianleguiyuzhedeyazuxiaoying
，jidangyouwailizuoyongyubandaoticailiaoshi
，qidianzujiangmingxianfashengbianhua。yijuciyuanlizhichengdeyalichuanganqishibayingbiandianzupianzhanzaijinshubomoshang，jijianglixinhaozhuanhuaweidianxinhaojinxingceliang。cijieduanzuixiaochicundayuewei1cm。

第二階段：發展

1960-1970年，隨著矽擴散技術的發展，技術人員在矽的（001）或（110）晶jing麵mian選xuan擇ze合he適shi的de晶jing向xiang直zhi接jie把ba應ying變bian電dian阻zu擴kuo散san在zai晶jing麵mian上shang，然ran後hou在zai背bei麵mian加jia工gong成cheng凹ao形xing，形xing成cheng較jiao薄bo的de矽gui彈dan性xing膜mo片pian，稱cheng為wei矽gui杯bei。這zhe種zhong形xing式shi的de矽gui杯bei傳chuan感gan器qi具ju有you體ti積ji小xiao、重量輕、靈敏度高、穩定性好、成本低
、便於集成化的優點，實現了金屬-矽共晶體，為商業化發展提供了可能。

第三階段：商業化

1970-1980nian，zaiguibeikuosanlilundejichushangyingyongleguidegexiangyixingdefushijishu，kuosanguichuanganqiqijiagonggongyiyiguidegexiangyixingfushijishuweizhu，fazhanchengweikeyizidongkongzhiguimohoududeguigexiangyixingjiagongjishu，zhuyaoyouV形槽法、濃硼自動中止法

、yangjiyanghuafazidongzhongzhifaheweijikongzhizidongzhongzhifa。youyukeyizaiduogebiaomiantongshijinxingfushi


，shuqiangeguiyalimokeyitongshishengchan，shixianlejichenghuadegongchangjiagongmoshi
，chengbenjinyibujiangdi。

第四階段：微機械加工

1980年nian到dao現xian在zai
，上shang世shi紀ji末mo出chu現xian的de納na米mi技ji術shu，使shi得de微wei機ji械xie加jia工gong工gong藝yi成cheng為wei可ke能neng。通tong過guo微wei機ji械xie加jia工gong工gong藝yi可ke以yi由you計ji算suan機ji控kong製zhi加jia工gong出chu結jie構gou型xing的de壓ya力li傳chuan感gan器qi，其qi線xian度du可ke以yi控kong製zhi在zai微wei米mi級ji範fan圍wei內nei。利li用yong這zhe一yi技ji術shu可ke以yi加jia工gong、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力傳感器進入了微米階段。

以上是壓力傳感器曆經的四個階段，在壓力、高度
、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控製等領域廣泛使用，未來也會滲透到更多的行業中，有著更多的應用

，起到重要作用。

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2018-07-28 338